感応性電界効果デバイス及びその製造方法

Translated title of the contribution: SENSITIVE FIELD EFFECT DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF

Pedro Miguel Cândido Barquinha (Inventor), Rodrigo Martins (Inventor), Elvira Maria Correia Fortunato (Inventor), Tobias Cramer (Inventor), Beatrice Fraboni (Inventor)

Research output: PatentRegional/Other National Application

Abstract

本発明は、半導体チャネル(110)と、前記半導体チャネル(110)に接続されたソース電極(120)と、前記半導体チャネル(110)が前記ソース電極(120)とドレイン電極(130)の間に介在するように、前記半導体チャネル(110)に接続されたドレイン電極(130)と、ゲート電極(140)と、前記ゲート電極(140)と前記半導体チャネル(110)との間に介挿された誘電体層(150)と、を備える感応性電界効果デバイス(100)に関し、前記半導体チャネル(110)は層であって、アモルファス酸化物からなり、且つ前記センサ手段(170,171,172,173,174,175)は、前記ゲート電極(140)と前記ソース電極(120)との間の電圧をそれらの電気的状態を変化させ得るセンシング事象時に変化させるように構成されている、ことを特徴とする。

Translated title of the contributionSENSITIVE FIELD EFFECT DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
Original languageJapanese
Patent numberJP2020513684
IPCH01L 29/ 786 A I, H01L27/146, G01N27/00, H01L27/144
Priority date14/11/16
Filing date8/05/19
Publication statusPublished - 14 May 2020

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